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一种保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法

摘要

本发明公开一种保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法,其特征在于包括如下步骤:步骤一:测试晶砖一侧面少子寿命情况;步骤二:根据所述侧面少子寿命情况,将晶砖截断得到尾料、可切片晶砖、头料、杂质层;步骤三:测试头料下截断面的少子寿命情况;步骤四:根据头料下截断面少子寿命情况,把可切片晶砖划分为不同等级进行返截。本发明成本低,实施简便,能有效保证硅片的质量,提高生产效率。

著录项

  • 公开/公告号CN109585275A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 包头美科硅能源有限公司;

    申请/专利号CN201811463937.7

  • 发明设计人 刘世龙;张泽兴;路景刚;

    申请日2018-12-03

  • 分类号

  • 代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人任立

  • 地址 014000 内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号

  • 入库时间 2024-02-19 09:35:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20181203

    实质审查的生效

  • 2019-04-05

    公开

    公开

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