一种基于加速算子分裂的半隐式光源掩膜协同优化方法

摘要

本发明公开了一种基于加速算子分裂的半隐式光源掩膜协同优化方法，包括下述步骤：把像素化的电路板图作为观测点，以观测点处的成像值等于目标值建立计算代价方程；结合约束条件，考察扩散项离散化半隐式更新方式获得时变的图像恢复方程，并使用AOS方法将二维矩阵的更新近似为水平和垂直方向上一维字典重塑向量更新的平均值。本发明的方法在观测点分布处的成像能够更快的获得；在光源像素矩阵、掩膜像素矩阵和观测点相同的条件下，具有更高的运算效率；在算法运算时间相同的情况下，投影光刻系统成像的效果更好。