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簇离子束生成方法和使用该方法的簇离子束照射方法

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摘要

本发明提供一种能够比以往增大簇离子束的束电流值的簇离子束生成方法。本发明的簇离子束生成方法是由烃系化合物原料生成构成元素中含有碳及氢的簇离子束，所述簇离子束生成方法的特征在于，所述烃系化合物原料包含具备侧链的分支链饱和烃，所述分支链饱和烃仅通过叔碳原子而分支。

公开/公告号CN109154072A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-04

原文格式PDF
申请/专利权人胜高股份有限公司;
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申请/专利号CN201780023782.2
发明设计人广濑谅;
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申请日2017-06-29
分类号C23C14/32(20060101);H01L21/20(20060101);H01L21/265(20060101);H01L21/322(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人童春媛;杨戬
地址日本东京都
入库时间 2024-02-19 09:35:35

1. 簇离子束生成方法和使用该方法的簇离子束照射方法 [P] . 中国专利： CN109154072A . 2019-01-04
2. 使用气体团簇离子束技术改变生物材料表面湿润性和/或其他生物相容性特征的方法以及由此制备的生物材料 [P] . 中国专利： CN102348453B . 2016.11.16
3. Cluster ion beam generation method and cluster ion beam irradiation method using the same [P] . 韩国专利： KR102165217B1 . 2020-10-13

机译：团簇离子束产生方法和使用该方法的团簇离子束照射方法
4. Cluster ion beam generation method and cluster ion beam irradiation method using the same [P] . 日本专利： JP6750351B2 . 2020-09-02

机译：团簇离子束产生方法和使用该方法的团簇离子束照射方法
5. Cluster ion beam generation method and cluster ion beam irradiation method using the same [P] . 韩国专利： KR20180111950A . 2018-10-11

机译：团簇离子束产生方法和使用该方法的团簇离子束照射方法