一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法

摘要

本发明公开了一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，通过光纤布拉格光栅传感器实时高精度地感知探针受到的应变，进而获取探针与晶圆晶粒的接触情况，实时地调整探针运动状态。本发明使用的系统主要包括：光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅温度传感器、数据处理模块和运动控制模块。本发明可避免传统的探针运动过程中，由于对操作人员依赖性强、运动控制系统参与度低、探针探测传感器对探针压力的测量精度低，而导致探针因接触不良或接触过深而引起的误判和晶圆破损现象，弥补了传统探针运动控制方法安全性低、测试效率低和测试结果准确度难以得到保证的缺点，具有安全性高、测试效率高、测试结果准确度高的优点。