一种多通道法布里-珀罗滤光片及其制备方法

摘要

本发明提供了一种多通道法布里‑珀罗滤光片及其制备方法，在多通道法布里‑珀罗滤光片制备过程中，采用聚焦离子束刻蚀的方法而达到仅需一次刻蚀就能集成多个通道。聚焦离子束刻蚀为计算机控制下的无掩膜刻蚀方法，可以直接对于高光谱滤光片不同位置的法布里‑珀罗腔层进行不同时间的刻蚀，从而利用单个刻蚀工艺实现多个通道的腔长长度的调节。