微激光精密加工装置

摘要

本发明公开了一种微激光精密加工装置，其包括激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口，压力流体腔和喷嘴微孔，经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴，激光器采用功率范围在瓦级—百瓦级的激光器，可见光光源可采用普通白光光源，扩束准直器采用倒置望远镜结构的扩束准直器。本发明克服了现有水导激光系统存在对激光焦点和喷嘴微孔中心点的耦合要求高、难以检测等缺点，对工件表面的平整度适应性强，且沿光轴方向既不需要精密聚焦，也无需考虑齐焦的问题，可实现理想的激光精密切割、打孔等加工。