首页> 中国专利> 制造具有不同原子或分子浓度的掺杂剂物质的相关电子材料膜

制造具有不同原子或分子浓度的掺杂剂物质的相关电子材料膜

摘要

本技术总体涉及制造分层的相关电子材料(CEM),其中,第一组一个或多个层可以包括第一浓度的掺杂剂物质,并且其中,第二组一个或多个层可以包括第二浓度的掺杂物质。在其他实施例中,CEM可以包括渐变浓度的掺杂剂物质的一个或多个区域。

著录项

  • 公开/公告号CN109564969A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ARM有限公司;

    申请/专利号CN201780048726.4

  • 申请日2017-08-10

  • 分类号H01L45/00(20060101);

  • 代理机构11258 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人林强

  • 地址 英国剑桥

  • 入库时间 2024-02-19 09:04:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20170810

    实质审查的生效

  • 2019-04-02

    公开

    公开

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