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用于从宽带源产生多通道可调谐照明的系统及方法

摘要

本发明涉及一种度量系统,其包含:照明源,其用于产生照明光束;多通道光谱滤波器;聚焦元件,其用于将照明从单个光学柱引导到样本;及至少一个检测器,其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个以上滤波通道。所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。所述多通道光学滤波器进一步包含用于将所述照明光束的至少一部分引导到至少一个选定滤波通道中以过滤所述照明光束的通道选择器。所述多通道光谱滤波器进一步包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/31 申请日:20170809

    实质审查的生效

  • 2019-04-02

    公开

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