公开/公告号CN109680280A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏蓝电环保股份有限公司;
申请/专利号CN201910019756.3
申请日2019-01-09
分类号C23F11/10(20060101);
代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);
代理人徐激波
地址 225417 江苏省泰州市泰兴市城东工业园环溪路68号
入库时间 2024-02-19 08:42:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F11/10 申请日:20190109
实质审查的生效
2019-04-26
公开
公开
机译: 包含有机胺化合物,乙二醇醚化合物,水溶性有机溶剂,缓蚀剂和去离子水的光致抗蚀剂溶解溶液组合物,以及使用该组合物的光致抗蚀剂溶解方法
机译: 包含由水溶性有机胺化合物,质子化的炔二醇乙二醇单烷基醚化合物,极性非质子溶剂,溶出促进剂和缓蚀剂组成的光致剥离剂组合物,其组成是通过使用分辩率的方法来实现的。
机译: 去除有机胺的方法,有机胺是一种含有胺的液态烃流