用于样本的缺陷检测及光致发光测量的系统及方法

摘要

本揭露涉及用于样本的缺陷检测及光致发光测量的系统及方法。样本的缺陷检测及光致发光测量将斜照明波长光束引导到样本的一部分上；将用于引起样本的一或多个光致发光缺陷发射光致发光的光的法线照明波长光束引导到样本的一部分上；收集来自样本的缺陷散射辐射或光致发光辐射；将来自样本的所述辐射分离成可见光谱中的辐射的第一部分、包含法线照明波长光的辐射的第二部分及包含斜照明波长光的辐射的至少第三部分；测量辐射的第一部分、辐射的第二部分或辐射的第三部分的一或多个特性；基于辐射的第一部分、辐射的第二部分或辐射的第三部分的经测量的一或多个特性来检测一或多个光致发光缺陷或一或多个散射缺陷。