气体阻隔性膜、使用它的气体阻隔性膜材和使用它们的电子设备、以及气体阻隔性膜的制造方法

摘要

本发明提供能够使气体阻隔性膜兼得优异的弯曲性和高温高湿环境下的高水蒸气阻隔性的手段。本发明涉及一种气体阻隔性膜，在厚度方向进行XPS组成分析时得到的原子组成分布曲线中，由M1M2xNy表示组成时，具有满足下述式(1)和下述式(2)的区域(a)。M1M2xNy，0.2≤x≤3.0(1)，0.6≤y≤1.4(2)，x：过渡金属M2与非过渡金属M1原子的存在原子比，y：氮原子与非过渡金属M1原子的存在原子比。