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一种硅基底类金刚石保护膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种硅基底类金刚石保护膜,包括硅基底、类金刚石保护膜及锗连接层;所述锗连接层设置于硅基底与类金刚石保护膜之间。本发明中的一种硅基底类金刚石保护膜,在硅基底与类金刚石保护膜之间设置了锗连接层,增强了类金刚石保护膜在硅基底上的附着力,特别是提高了硅基底边缘类金刚石保护膜的附着力,避免了边缘出现脱膜现象,实现类金刚石保护膜在硅基底上全口径稳定覆盖,降低废品率,节省生产成本。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C28/00 申请日:20181221

    实质审查的生效

  • 2019-04-05

    公开

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