类金刚石碳膜──软磁盘保护膜的性能

摘要

射频离解烃方法制备了适用于作软磁盘保护层的类金刚石碳膜。在基本不影响盘原有电磁特性前提下，保护膜兼备良好的耐磨、抗高温高湿和防霉等功能。