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公开/公告号CN109509709A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 富士电机株式会社;
申请/专利号CN201810812332.8
发明设计人 杉山贵纪;宫泽阳介;
申请日2018-07-23
分类号
代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司;
代理人周爽
地址 日本神奈川县川崎市
入库时间 2024-02-19 08:20:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20180723
实质审查的生效
2019-03-22
公开
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