公开/公告号CN109623602A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201710931321.7
发明设计人 韩春燕;
申请日2017-10-09
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2024-02-19 08:16:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-10
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B27/033 申请日:20171009
实质审查的生效
2019-04-16
公开
公开
机译: 静电吸盘,静电吸盘装置,静电吸盘的制造方法,真空吸盘,真空吸盘装置,真空吸盘的制造方法,陶瓷加热器,陶瓷加热器装置以及陶瓷加热器的制造方法
机译: 静电吸盘,静电吸盘设备以及制造静电吸盘,真空吸盘,真空吸盘设备和制造真空吸盘的方法以及陶瓷加热器,陶瓷加热器设备和制造陶瓷加热器的方法
机译: 用于移动清洁装置的吸盘,具有这种吸盘的移动清洁组件和清洁方法