首页> 中国专利> 吸盘自动清洁装置及方法、自动识别吸盘异常点的方法

吸盘自动清洁装置及方法、自动识别吸盘异常点的方法

摘要

本发明提出一种吸盘自动清洁装置,通过传感器组件自动获取吸盘的异常点的位置,根据异常点的位置通过打磨组件对吸盘进行自动清洗,操作简单,降低了清洁周期,从而提高了设备产率。进一步的,通过驱动组件驱动所述打磨组件或驱动吸盘固定组件相对运动,减小了整个吸盘自动清洁装置的体积,无需拆除吸盘即可对所述吸盘进行自动清洗,降低了清洁成本。进一步的,本发明提出的吸盘自动清洁装置使用全自动模式,自动识别吸盘异常点的位置,打磨组件清洁的力量及速度均易控,降低了对操作人员的要求,减少了对吸盘造成的二次污染,并且清洁效率更高,计算精确,增加了清洁所述吸盘的精确度,同时降低了对操作人员的要求。

著录项

  • 公开/公告号CN109623602A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;

    申请/专利号CN201710931321.7

  • 发明设计人 韩春燕;

    申请日2017-10-09

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅

  • 地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号

  • 入库时间 2024-02-19 08:16:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):B24B27/033 申请日:20171009

    实质审查的生效

  • 2019-04-16

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号