一种大行程高速高精度宏微复合运动平台

摘要

本发明提供一种大行程高速高精度宏微复合运动平台，包括底座、X向驱动装置、Y向驱动装置、X向移动组件、Y向移动组件、Z向伸缩装置和微运动补偿单元、宏微位移检测装置以及工控机。底座、X向驱动装置、Y向驱动装置、X向移动组件、Y向移动组件和Z向伸缩装置构成宏运动机构，在工控机的控制下，可以实现终端平台沿X、Y、Z向的大行程宏运动，其运动平稳、效率高；微运动补偿单元构成微运动机构，在工控机的控制下，可以实现终端平台沿三轴方向小范围内的运动微调，达到三维协同XYZ精密运动误差补偿、三轴振动协同快速抑制的技术效果。上述大行程高速高精度宏微复合运动平台，可以实现微电子产品的大行程、高速、高精度、平稳运动。