激光等离子体有效清洗微纳颗粒的脉冲空间间隔选择方法

摘要

本发明涉及激光技术。本发明的目的是要进一步提高等离子冲击波式激光清洗方法的去除率，提供一种激光等离子体有效清洗微纳颗粒的脉冲空间间隔选择方法，其技术方案可概括为：欲使用等离子冲击波式激光清洗方法清洗待清洗基底，首先确定单束激光等离子体作用到待清洗基底表面的距离及单束激光的激光能量，然后获取单束激光等离子体作用到待清洗基底表面后的弹跳去除区域及滚动去除区域，最后在扫描清洗待清洗基底时，针对待清洗基底上的任意一个区域都必须采用单束激光等离子体作用到待清洗基底表面后的滚动去除区域覆盖至少一次。本发明的有益效果是：有效提高去除率，适用于等离子冲击波式激光清洗方法清洗待清洗基底。