用于检测二维平面内磁场的垂直霍尔效应传感器

摘要

本公开涉及一种用于检测二维平面内磁场的垂直霍尔效应传感器。在一个实施方案中，所述公开的微电子装置(100)包含垂直霍尔板(108)，其具有十字形上部终端(110)和包含埋层(118)的下部终端。所述十字形上部终端(110)在其中接触所述垂直霍尔板(108)之处具有5比12的长宽比。所述长度是从所述十字形上部终端(110)的一个臂的一端到相对臂的相对端测量的。所述宽度是两个臂的平均宽度。霍尔感测分接头(122)位于所述十字形上部终端(110)外。电流返回区域(120)连接到所述埋层(118)。