一种低温共烧陶瓷LTCC压力传感器

摘要

本发明提供一种低温共烧陶瓷LTCC压力传感器，属于传感器技术领域。本发明主要包括自上而下的三层LTCC基片，其特征在于，第一层LTCC基片的上表面印刷有圆形平面的螺旋电感，第一层LTCC基片的下表面印刷有电容上极板，第二层LTCC基片上设有密封的玻璃，第三层LTCC基片的上表面印刷有电容下极板，所述的螺旋电感内外层分别与电容上极板和电容下极板通过金属通孔连接并构成LC回路。本发明低温共烧陶瓷LTCC压力传感器采用基于LTCC工艺的多层陶瓷基板进行固有封装，实现了传感器体积的小型化。本发明以LTCC技术为基础共烧陶瓷与玻璃，通过这种异质材料匹配共烧的工艺，可以提高器件的成品率、测压范围和可靠性。