空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置及方法

摘要

本发明公开了一种空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置及方法，涉及电子束加工制造技术领域。该装置通过上磁轭、不锈钢衬和下磁轭围成放电腔，并在不锈钢衬的外侧设置永磁体，放电腔的上端分别与微波源和气体源连接，放电腔的下端连接电子引出孔和加速电极，该结构的电子束发生装置，体积小，占用空间少，同时，由于本发明装置中的等离子体电子由工质气体产生，不涉及电子束发生装置本身结构的消耗，所以，理论上电子束发生装置的使用寿命可以无限延长，因此，本发明提供的体积小、寿命长的空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置，十分适合用于空间环境下的焊接、制造等任务。