一种平膜结构SiCN无线无源压力传感器及其设计与制造方法

摘要

本发明公开了一种平膜结构SiCN无线无源压力传感器的设计与制造方法，平膜结构SiCN无线无源压力传感器设计与制造，涉及压力传感器，所述压力传感器芯片设有压力腔、开槽天线及金属层，压力腔是由通过SiCN薄膜和SiCN体通过先驱体聚硅氮烷作为粘合剂经过多次烧结后达到键合目的形成压力腔；在键合前在SiCN薄膜和SiCN体的表面采用丝印方式形成金属谐振腔；在丝印的同时用聚酰亚胺保护形成信号传输用的开槽天线。高可靠性且适用于高温高压、酸碱、潮湿等恶劣环境。