一种测量龙虾眼透镜方孔通道倾角的装置和方法

摘要

本发明公开了一种测量龙虾眼透镜方孔通道倾角的装置和方法，首先通过六维精密装置台和激光发生器将X射线光源、MPO透镜及SDD探测器调整为一个共轴光学系统。其次所述X射线光管发出的X射线束，经所述光阑A和光阑B约束为准平行X射线束照射到所述MPO透镜上。再通过六维精密装置台调整MPO透镜的状态使得SDD探测器计数最大，此时MPO透镜方孔通道的倾角即为精密台旋转的角度。对MPO的位置进行二维扫描，记录不同位置处的MPO透镜方孔通道倾角。本发明操作简单，测量精度高，可实现对MPO透镜倾角的快速检测，准确获取不同位置处通道倾角信息，有助于指导工艺和发现质量问题。