一种Ag-Au-Al-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底及其制备方法

摘要

本发明公开了一种Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu纳米复合膜表面增强荧光基底及其制备方法，通过在载玻片上直流溅射复合靶材Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu来制备，其操作简单、环境友好、沉积速度快、效率高、生产成本低、易于批量生产，通过使用Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu复合靶材代替传统单一的纳米金属，得到多组元构成的纳米复合Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu薄膜，令荧光在宽广波区有效增强，大大拓展了其应用范围。