公开/公告号CN109471213A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201811051292.6
申请日2018-09-10
分类号G02B5/18(20060101);G01S7/481(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人郭毅
地址 德国斯图加特
入库时间 2024-02-19 07:32:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-15
公开
公开
机译: 制备衍射光学元件的方法,以及用于制造衍射光学元件的模具,以及由制造衍射光学元件的方法和光学系统制造的衍射光学元件,以及应用该衍射方法的光学装置和装置,
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件