差温预热旋涂工艺及基于该工艺制备的有机光电探测器

摘要

本发明公开了一种差温预热旋涂工艺，属于机光电子技术领域，包括以下步骤：1)将圆形基片沿半径方向划分为若干个区域，任意一个区域的圆心与圆形基片的圆心重合，对各个区域进行预热且各个区域的预热温度均不相同；从圆形基片圆心到边缘的预热温度逐渐升高；2)对预热完成的圆形基片进行旋涂溶液；增加了圆形基片边缘的厚度，使得膜的厚度更加均匀，提高了探测器的探测效率。