柔性微型压电超声换能器、阵列及其形成方法

摘要

本发明提出了具有柔性基底，柔韧性佳，应用范围广的柔性微型压电超声换能器和柔性微型压电超声换能器阵列以及它们的形成方法。本发明的柔性微型压电超声换能器包括：柔性基底和PMUT结构，其中：柔性基底的顶部具有第一空腔，第一空腔的深度小于或者等于柔性基底的厚度；PMUT结构位于柔性基底之上，PMUT结构至少包括下电极、压电层以及上电极。