公开/公告号CN109300750A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201811006225.2
申请日2018-08-30
分类号H01J1/304(20060101);
代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;
代理人房德权
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2024-02-19 07:20:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J1/304 申请日:20180830
实质审查的生效
2019-02-01
公开
公开
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