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一种管芯参数测试方法、适配装置及该装置的安装方法

摘要

本发明公开了一种管芯参数测试方法、适配装置及该装置的安装方法,装置包括:阴极适配器和阳极适配器,管芯设置于阴极适配器与阳极适配器之间。阴极适配器包括阴极垫板、阴极块和门极件,阴极垫板、阴极块采用导电材料。阴极垫板设置有与管芯的门极图形对应的阴极垫板槽。门极件设置于阴极垫板槽中,并在测试时与管芯的门极相连。阴极垫板的一面与管芯的阴极相装配,另一面与阴极块相装配。阳极适配器进一步包括阳极块,及用于固定管芯的定位圈,阳极块采用导电材料,定位圈设置于阳极块的一面。阳极块设置有定位圈的一面在管芯测试时与管芯的阳极相装配。本发明能够解决传统管芯测试适配器需逐片装放与拆卸,测试效率和准确性不高的技术问题。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20170626

    实质审查的生效

  • 2019-01-01

    公开

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