一种应用于氢化物气相外延设备的气体预热装置

摘要

本发明公开了一种应用于氢化物气相外延设备的气体预热装置,包括内设有镓舟的外管，所述外管内设有螺旋管，螺旋管沿着镓舟外围螺旋缠绕，螺旋管一端与进口管连接，螺旋管另一端与过渡连接管连接，该过渡连接管与喷淋头连接，螺旋管从镓舟上方开始以螺旋方式缠绕延伸至镓舟下方，使镓舟位于螺旋管内部。本发明通过螺旋管具有的较长传输路径，延长气体通过路径，使气体尽可能吸收热量升温至需要的温度，有效提升气体从喷淋头喷出来时的温度，提升热效率。