利用微机电工艺制造气体检测器的方法

摘要

一种利用微机电工艺制造气体检测器的方法，包括提供一具多个彼此相邻单元的微机电系统晶圆、形成一气体感应材料层在该微机电系统晶圆上、将一结构强化层与该微机电系统晶圆阳极接合、设置一黏结胶带再切割而产出气体检测单元、最后通过该黏结胶带使该气体检测单元黏结在一基板上而形成一气体检测器。该结构强化层的设置可提高元件的强度、防止崩边，进而提高整体优良率并降低成本。