一种基于反射镜的非接触式振动位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于反射镜的非接触式振动位移传感器，包括激光器、金属外壳、平面反射镜、光学位置探测器、信号处理模块、固定块及待测平台。激光器产生激光沿入射激光线路，以一定角度到反射镜端面形成反射后，沿着反射激光线路进入光学位置探测器，光学位置探测器实时探测反射激光光斑的位置，并将数据传输给信号处理模块进行信号处理；当待测平台产生振动或发生垂直位移时，推动反射镜水平上下移动，从而改变了发射激光路线，通过实时监测反射激光光斑位置变化可得到待测平台的振动、位移情况。本发明系统设计独特，可有效的检测待测平台的振动和位移，具有精度高、动态范围大及抗电磁干扰等优点。