基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置

摘要

为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外、无法在静电高危区域使用、无法测量运动人体带电情况等问题,本论文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置.该装置基于封装后的电场传感器芯片,具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求.试验结果表明,该装置测量范围为-30kV～30kV,分辨力优于50V,总不确定度优于3％.