机译:具有低横轴耦合干扰的基于MEMS的三维电场传感器的设计制造和表征
electric field sensor three-dimensional cross-axis coupling interference symmetry;
机译:基于CMOS MEMS的热电发电机的设计,制造和表征
机译:基于热膜的基于MEMS的流量传感器的制作与表征
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机译:具有低轴轴耦合干扰的新型电场微传感器
机译:用于微流体应用的基于脉冲MEMS的微流量传感器的制造和表征。
机译:用于乳腺癌诊断的基于MEMS的柔性机电传感器阵列的设计与制造
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机译:扫描探针尖端电场感应电阻传感器的制作与表征