一种利用双光子吸收聚合加工光学模具的方法

摘要

本发明公开了一种利用双光子聚合加工光学模具的方法，涉及激光加工技术领域，本发明主要是利用超快激光入射到光刻胶内部，在特定位置产生双光子吸收、聚合、固化，之后通过化学溶液或等离子体将未固化的光刻胶去除，从而形成所需的光学模具。该方法加工光学模具具有亚微米级的分辨率，以及很高的空间选择性，同时在模具表面的可以形成所需的亚微米结构以实现特殊的表面性能，例如亲/疏水性等。此外，该方法也可与传统的机械加工或光聚合方法相结合，形成复合加工方式满足特定的需求。