用于确定层厚度的共焦显微镜和显微镜方法

摘要

涉及用于确定层厚度的共焦显微镜和显微镜方法。共焦显微镜包括：光学部件，用于将照明光引导和聚焦到样本上；焦点调整设备，沿共焦显微镜的光轴调整照明光的焦点位置和样本位置之间的相对位移；光测量设备，对来自样本的照明光进行共焦测量，利用其记录属于焦点调整设备的不同设置的测量信号；评估设备，确定样本的层厚度，为此被配置为：确定在由光测量设备记录的测量图中的至少两个强度带的强度带位置，测量图表示根据焦点位置的测量的光强度；并根据强度带位置之间的位置差确定层厚度。评估设备被配置为：考虑到层处的照明光的干涉，使用数学模型确定层厚度，该数学模型针对重叠强度带描述强度带位置对于至少一个光波长和层厚度的依赖性。