一种用于带电粒子探测谱仪真空靶室的真空气路系统

摘要

本申请公开了一种用于带电粒子探测谱仪真空靶室的真空气路系统。本申请用于带电粒子探测谱仪真空靶室的真空气路系统，包括真空组件和工作气体组件；真空组件包括耐冲击复合分子泵，复合分子泵用于独立的分别与真空靶室的真空腔体和探测器管道连通；工作气体组件包括高压气瓶，高压气瓶用于与探测器管道连通；高压气瓶和探测器的连通管道上设有稳压平衡罐。本申请的真空气路系统，能在真空环境下为探测器提供稳定工作气压，保障了检测环境稳定性，能有效避免压差不稳定造成粒子束窗破裂；稳压平衡罐的设计，为高压气瓶提供缓冲，避免探测器内气压突然变化，进而避免了探测器与真空腔体的压差突变对系统造成损坏，进一步保障了探测器使用安全性。