同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜

摘要

本发明公开了同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜，光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波；其中一束经过分光棱镜反射后依次经过第一透镜、非偏振分光棱镜和物镜后平行出射于样品表面，样品反射光经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束，另一束穿过四分之一波片经第三反射镜反射后，依次经过第二反射镜反射、第二透镜会聚、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射第一相机，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹。本发明的有益效果是由于数字全息显微镜成像速度快，可以实现对样品形貌、光电性能和样品生长不良的高速精确检测。