基于加载电阻的多频超材料吸收器的太赫兹微测辐射热计

摘要

一种基于加载电阻的多频超材料吸收器的太赫兹微测辐射热计，包括有采用标准55nmCMOS工艺制成的硅衬底，所述的硅衬底上设置有能够同时接收三个频段电磁波的加载负载电阻的多频超材料吸收结构和接收多频超材料吸收结构的输出信号的PTAT温度传感电路，所述PTAT温度传感电路的输出端构成太赫兹微测辐射热计的输出端。本发明能够实现同时探测910GHz、2.58THz和4THz三个频段的太赫兹信号，并通过引入负载电阻来提高探测器响应度，进而获得了一种多频太赫兹探测的有效方法，为实现多频高性能太赫兹探测提供了可能。