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一种短波/中波/长波三波段红外探测器及其制备方法

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本发明公开了一种短波/中波/长波三波段红外探测器，其结构包括GaSb衬底、沉积于GaSb衬底上的外延结构、钝化层、金属电极，所述外延结构从下至上依次为Te掺杂的GaSb缓冲层、n型InAs/GaSb超晶格接触层、M型InAs/GaSb/AlSb/GaSb/InAs超晶格空穴阻挡层、p型InAs/GaSb超晶格长波红外吸收层、p型InAs/GaSb超晶格接触层、p型GaSb接触层、p型InAs/InAsSb超晶格接触层、未掺杂的InAs/InAsSb超晶格中波红外吸收层、n型InAs/InAsSb超晶格接触层、n型GaSb接触层、n型InAs

著录项

公开/公告号CN109285911A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-29

原文格式PDF
申请/专利权人云南师范大学;
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申请/专利号CN201811091153.6
发明设计人郝瑞亭;郭杰;刘欣星;常发冉;李勇;顾康;
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申请日2018-09-19
分类号
代理机构南京苏创专利代理事务所(普通合伙);
代理人王华
地址 650500 云南省昆明市呈贡区雨花片区1号
入库时间 2024-02-19 06:53:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/101 申请日:20180919

实质审查的生效
2019-01-29

公开

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