扫描透射电子显微成像方法和系统

摘要

本发明提供了一种扫描透射电子显微成像方法和系统，其中，方法包括以下步骤：控制电子束在样品上方进行逐点的旋进扫描，在样品下方得到衍射点信息，其中，电子束对样品的逐点的旋进扫描通过控制电子束在每个扫描点旋转一周，并间隔角度取若干扫描点，然后将若干间隔选取的扫描点加权叠加生成的扫描点代替原先单个扫描点；通过选取高角度的衍射点信息，得到电流强度信息；根据电流强度信息转换成衍射衬度信息，根据衍射衬度信息得到样品的暗场像。本发明通过增加旋进电子衍射方式，对每个扫描点的信号进行加权叠加，可以消除运动学效应的影响，提高了衬度，随着衬度的提高，也提高了扫描透射电子显微成像(STEM)图像的灵敏度和分辨率。