栅极介电材料的形成方法

摘要

栅极介电材料的形成方法包括：形成高介电常数的介电材料于基板上的第一区中，其中形成高介电常数的介电材料的步骤包括：形成第一介电层于基板上，且第一介电层包括铪；以及形成第二介电层于第一介电层上，且第二介电层包括镧。