基于薄膜体声波谐振器的柔性触觉传感器阵列

摘要

本发明涉及微电子技术领域，提出一种基于薄膜体声波谐振器的柔性触觉传感器阵列，包括若干个薄膜体声波谐振器、多路复用器、用于测量薄膜体声波谐振器谐振频率的谐振电路以及用于信号采集和分析处理的微处理芯片，其中多个薄膜体声波谐振器阵列分布设置，薄膜体声波谐振器阵列的输出端与多路复用器的输入端连接，多路复用器的输出端与谐振电路的输入端连接，微处理芯片的输入端与多路复用器的输出端和谐振电路的输出端连接。本发明满足柔性触觉传感器对柔韧性的要求，具有高柔韧性、高谐振频率等特点，可应用于以接触的形式检测物体的形状、质地、硬度、温度、力以及振动等物理量的触觉传感器中。