公开/公告号CN109355638A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 常州工学院;
申请/专利号CN201811532568.2
申请日2018-12-14
分类号C23C16/30(20060101);C23C16/52(20060101);H01L31/032(20060101);H01L31/09(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构32207 南京知识律师事务所;
代理人高桂珍
地址 213032 江苏省常州市新北区辽河路666号
入库时间 2024-02-19 06:44:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20181214
实质审查的生效
2019-02-19
公开
公开
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