钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用

摘要

本发明公开了一种钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用，所述薄膜由金属钛掺杂到无氢类金刚石薄膜构成，其中，金属钛的掺杂量为4.6~17.5wt%。通过本发明所述制备方法沉积的薄膜具有较好的生物相容性、耐磨擦磨损性和较好的膜基结合力，可以用于修饰医用植入物的表面。