法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-09-01
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-02-06
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更前: 变更后: 申请日:19930630
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2002-01-09
授权
授权
1994-08-24
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1994-06-15
公开
公开
机译: 加速度的微机械测量方法和微机械加速度传感器
机译: 微机械测量方法的加速度和微机械加速度传感器
机译: 加速度的微机械测量方法和微机械的加速度传感器