机译:脉冲功率和氩气流量对使用大功率脉冲磁控溅射技术制备的类金刚石碳涂层的机械和摩擦学性能的影响
机译:频率和C_2H_2流量对反应性大功率脉冲磁控溅射沉积AlCrSi共掺杂类金刚石碳涂层生长性能的影响
机译:成分对大功率脉冲磁控溅射沉积碳氮化硼(BCN)涂层磨损性能的影响
机译:高功率脉冲磁控溅射蚀刻不平衡磁控溅射沉积(HIPIMS / UBM)工艺沉积的工业化生产耐腐蚀CrN / NbN涂层
机译:调制脉冲功率磁控溅射沉积氮化钛和氮化铝钛涂层的摩擦学和结构性能
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:功率脉冲参数对调制脉冲功率磁控溅射AlCrN涂层组织和性能的影响