Исследованы свойства a-C и СNx покрытий в условиях трения скольжения. Сравнивались покрытия, полученные на идентично подготовленных поверхностях, при равных толщинах и наudодинаковых подложках. Покрытия формировались методом осаждения из фильтрованнойudвакуумно-дуговой плазмы. Изучались состав, структура, микротвердость, модуль упругости,udнапряжения, коэффициенты трения и износа покрытий. Установлено, что а-С покрытия имелиudмикротвердость 52 – 57 ГПа и модуль упругости – в пределах 490 – 560 ГПа. Покрытия СNxudпри достаточно высокой микротвердости 28 – 30 ГПа характеризовались сравнительно низкимudмодулем упругости 160 ГПа. Отмечались заметные различия в трибологическом поведенииudпокрытий в зависимости от влажности атмосферы, в которой производились испытания. Различия механических и трибологических свойств изучавшихся покрытий могут бытьudиспользованы для оптимального их выбора для тех или иных условий эксплуатации.
展开▼
