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【2h】

The Effects of Thermal and Atmospheric Pressure Radio Frequency Plasma Annealing in the Crystallization of TiO2 Thin Films

机译：TiO2薄膜结晶中热和大气压射频等离子体退火的影响

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Yu Xu; Yu Zhang; Tao He; Ke Ding; Xiaojiang Huang; Hui Li; Jianjun Shi; Ying Guo; Jing Zhang;
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年度 2019
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