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Characteristics of Extreme Ultraviolet Emission from CO₂ Laser-Produced Plasma

机译：CO _{2 激光产生等离子体极端紫外线发射特征}

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Akihiko Takahashi; Hiroki Tanaka; Yuuki Hashimoto; Tatsuo Okada;
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年度 2007
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1. Emission characteristics of debris from CO_2 and Nd:YAG laser-produced tin plasmas for extreme ultraviolet lithography light source [J] . A. TAKAHASHI, D. NAKAMURA, K. TAMARU, Applied physics . 2008,第1期

机译：用于极端紫外线光刻光源的CO_2和Nd：YAG激光产生的锡等离子体中碎片的发射特性
2. Comparative study on emission characteristics of extreme ultraviolet radiation from CO_2 and Nd: YAG laser-produced tin plasmas [J] . Hiroki Tanaka, Atsushi Matsumoto, Kouzi Akinaga, Applied Physics Letters . 2005,第4期

机译：CO_2和Nd：YAG激光产生的锡等离子体的极紫外辐射发射特性的比较研究
3. Emission Characteristics of Extreme Ultraviolet Radiation from CO_2 Laser-Produced Xenon Plasma [J] . Hiroki TANAKA, Koji AKINAGA, Akihiko TAKAHASHI, Japanese Journal of Applied Physics. Part 2, Letters . 2004,第4BPt2期

机译：CO_2激光产生的氙等离子体的极紫外辐射发射特性
4. Direct Comparison of Emission Characteristics of Extreme Ultraviolet Radiation from CO{sub}2 and Nd:YAG Laser-Produced Plasmas with Solid Tin Target [C] . Hiroki Tanaka, Atsushi Matsumoto, Kouzi Akinaga, International Quantum Electronics Conference . 2005

机译：具有固体锡靶的极端紫外线辐射发射特性的直接比较紫外线：YAG激光产生的等离子体
5. Emission characteristics of Nd:YAG and CO2 laser-produced tin plasmas for extreme ultraviolet lithography source development. [D] . Campos, David Daniel. 2010

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6. Time-resolved two-dimensional profiles of electron density and temperature of laser-produced tin plasmas for extreme-ultraviolet lithography light sources [O] . Kentaro Tomita, Yuta Sato, Syouichi Tsukiyama, -1

机译：极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
7. Optimization of Extreme Ultraviolet Emission from Laser-Produced Tin Plasmas Based on Radiation Hydrodynamics Simulations [O] . Atsushi SUNAHARA, Katsunobu NISHIHARA, Akira SASAKI 2008

机译：基于辐射流体动力模拟的激光产生的锡等离子体极端紫外排放的优化
8. Time-resolved extreme-ultraviolet spectroscopy of laser-produced plasmas originating at the parylene layer of microballon targets. Final report, December 13, 1989-February 13, 1991. [R] . H. R. Griem J. Moreno 1991

机译：激光产生的等离子体的时间分辨极紫外光谱，源自微球目标的聚对二甲苯层。最终报告，1989年12月13日至1991年2月13日。

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