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【2h】

Subnanometergenaue Messungen der Formabweichungen ausgedehnter, gering gekrümmter optischer Flächen für die Finish-Bearbeitung bis zu Genauigkeiten von < λ/1000

机译：亚微米级精确测量宽广的，略微弯曲的光学表面的形状偏差，用于精加工<λ/ 1000

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Lammert Heiner; Siewert Frank; Zeschke Thomas;
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年度 2010
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